Thiết bị xử lý nước tinh khiết thường bao gồm hệ thống tiền xử lý, thiết bị thẩm thấu ngược, hệ thống hậu xử lý, hệ thống làm sạch và hệ thống điều khiển điện. Hệ thống tiền xử lý thường bao gồm bơm nước thô, thiết bị định lượng, bộ lọc cát thạch anh, bộ lọc than hoạt tính, bộ lọc chính xác, v.v. Chức năng chính của nó là giảm chỉ số ô nhiễm của nước thô và các tạp chất khác như clo dư để đáp ứng yêu cầu nước đầu vào của quá trình thẩm thấu ngược. Thiết bị thẩm thấu ngược chủ yếu bao gồm bơm cao áp nhiều tầng, màng thẩm thấu ngược, vỏ màng (bình áp suất), giá đỡ, v.v. Chức năng chính của nó là loại bỏ tạp chất trong nước và làm cho nước đáp ứng yêu cầu sử dụng.
Hệ thống xử lý sau được bổ sung khi quá trình thẩm thấu ngược không đáp ứng được yêu cầu của nước thải. Hệ thống này chủ yếu bao gồm một hoặc nhiều loại thiết bị như giường âm, giường dương, giường hỗn hợp, khử trùng, siêu lọc, v.v.
Hệ thống làm sạch chủ yếu bao gồm bể chứa nước làm sạch, bơm nước làm sạch và bộ lọc chính xác. Khi hệ thống thẩm thấu ngược bị ô nhiễm và chỉ số nước thải không đạt yêu cầu, cần phải làm sạch hệ thống thẩm thấu ngược để khôi phục hiệu quả hoạt động.
Hệ thống điều khiển điện được sử dụng để điều khiển hoạt động bình thường của toàn bộ hệ thống thẩm thấu ngược. Bao gồm bảng điều khiển thiết bị, bảng điều khiển trung tâm, các thiết bị bảo vệ điện, tủ điều khiển điện, v.v.